从传统上讲，射频探针的接触是用铍（beryllium）-铜（BeCu）制作的。而且人们最早采用射频探针技术与今天的工具是很不相同的，之后工程师在探针技术上取得了突破，才确定了射频探针的基本要求和工作原理.
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